​新材料半导体废气处理

　　​新材料半导体废气处理。与传统材料相比，新材料产业具有技术密集度高、研发投入高、产品附加值高、国际化生产和市场强、应用范围广、发展前景好等特点。其R&D水平和工业化规模已成为衡量一个国家经济、社会发展、科技进步和国防实力的重要标志。世界各国，特别是发达国家，都非常重视新材料产业的发展。

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新材料半导体废气处理​

半导体作为新材料行业的代表之一，对操作间的洁净度要求极高，通常采用风机抽取工艺过程中挥发的各种废气。因此，半导体具有排气量大，排放浓度低的特点。这些排放物可分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

RTO再生式焚烧炉设备，简称“RTO设备”，是一种利用高温破坏焚烧的废气处理技术。一般用电和天然气作为加热能源。废气处理虽然是在700℃的高温下使用，但实际上消耗的能量很少。这是因为该设备可以回收热能，大大降低能耗，提高废气分子的燃烧反应速率。设备主体由燃烧室、陶瓷填充床和换向阀组成。设备的净化效率也稳定保持在99%以上。